GTS-institutterne bringer ny teknologisk viden i spil i danske virksomheder

Læs mere

Danmarks teknologiske infrastruktur

Skatterometriske og Ellipsometriske målinger

Tyndfilm og strukturer med dimensioner på nanometerskala finder anvendelser i halvledere, mikroelektronikske og mikromekaniske systemer, biometriske apparater, samt optiske komponenter. Ikke-destruktiv karakterisering af sådanne strukturer er en vigtig del af kvalitetskontrollen i produktion og i udviklingen af nye produkter.

Skatterometri og ellipsometri er optiske teknikker til bestemmelse materialers egenskaber ud fra målinger af lysets refleksion samt ændringer i lysets polarisationen. Sådanne målinger giver information om materialers optiske egenskaber og tykkelse, samt dimensionerne af optiske gitre. Resultaterne opnås ved at sammenligne den målte polarisationsændring med en model af den fysiske prøve.

DFM udfører ellipsometri og skatterometriske målinger på tyndfilmsprøver og gitre:

  • Tyndfilm: Prøver med diametre fra 1” til 6” og filmtykkelser mellem 50 nm og 100 µm Eksempler på tyndfilmmaterialer inkluderer SiO2, HfO2, polymerer, Si, InP og glas. De bedste resultater opnås for prøver med store forskelle i brydningsindeks og optisk absorption.
  • Silicium gitre: Prøver med diametre fra 1” til 6”, arealer af gitre fra 1 mm2, perioder fra 300 nm til 1000 nm, højder fra 100 nm til 2000 nm.

DFMs ellipsometriske ydelser er målrettet metrologiske anvendelser via sporbarhed til SI meteren. Et gennemarbejdet usikkerhedsbudget tilbydes sammen med måleresultaterne.

De skatterometriske ydelser er målrettet industriel anvendelse og inkluderer målehastigheder ned til 10 ms. Udstyret er transportabelt, og målinger kan udføres hos kunden.

Målgruppe: Tyndfilmfabrikanter i halvlederindustrien, hurtig produktion inden for plastindustri og roll-to-roll fabrikation, samt producenter af optiske gitre til bl.a. telekomindustrien.



Læs mere



Del med dine kolleger
Fra samme kategori

Industriens plast- og kompositlaboratorie

Industriens plast- og kompositlaboratorium giver virksomheder adgang til faciliteter og tværfaglige kompetencer, der kan understøtte produktinnovation indenfor plast, elastomerer og kompositter.

Produktion af proteiner

Hos Bioneer udføres produktion og oprensning af proteiner i en fleksibel og specialiseret laboratoriefacilitet, der gør det muligt hurtigt at fremstille højkvalitative proteiner til prækliniske forsøg

Elektrokemiske målinger

DFMs laboratorium for elektrokemi tilbyder faciliteter inden for målinger af elektrolytisk ledningsevne og pH af for vand og vand-opløsningsmiddel blandinger. Kalibreringsydelserne er DANAK akkrediterede i hen-hold til ISO 17025 og ISO 17034

Lindoe Component and Structure Testing

FORCE Technology og LORC har etableret Lindoe Component and Structure Testing A/S med fokus på fuldskalatest af komponenter og systemer - mekanisk og i klimakammer.

Måling af optisk effekt

DFM har faciliteter til kalibrering af optiske power metre og detektorer. Power meters måleevne og fotodetektorers responsivitet bestemmes. Kalibreringsydelserne er DANAK akkrediterede i henhold til ISO 17025.

Nano-coating med MVD-udstyr

Teknologisk Institut har faciliteter, som virksomheder kan anvende til nano-coating. Nano-coatning lægger sig som en ultratynd film over produktet, så det ikke bliver ødelagt ved brug.